为什么选择PMS：
· SEMI&FPD薄膜沉积工艺中，以高压喷射HOT N2的方式帮助输送管路内的副产物及未反应气体，防止管道内堵塞的发生；
· 稀释: 利用惰性气体稀释，中和副产物，并延迟管道内粉尘的堆积；
· 利用热能: 加热后的氮气可以通过激活热能促进副产物的分子活动，并防止粉尘的凝固；
· 输送: 采用专业的空气动力学原理，通过高压喷射HOT N2加速了副产物在管道内的流速，尤其提高了沉积高危区“管道壁面”上的产物流速；
· 市场与需求：半导体与平板显示行业FAB厂务，CVD、ETCH、ALD等沉积设备商，2000sets per year；
PMS的使用效果：
PMS的工作原理：
